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YSBZ6000真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。在磁控放電的研究中發現：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關間接關系。因此，開發了基于電離電荷的采樣技術，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。